Beschreibung
Ein vollautomatischer Druckhärteofen mit 300mm EFEM.
Anlagenmerkmale
- Größe des Ofens (mm): 2.200[B] x 2.200[T] x 2.475[H]
- Nutzbare Fläche der Kammer (mm): 560[B] x 680[T] x 480[H]
- Max. Betriebsdruck: 20 bar (290 psi)
- Maximale Betriebstemperatur: 260⁰ C
- Stickstoffaktiviert (Option)
- Reinraumklasse 100 (Option)
- Vakuum bis zu 5 Torr (Option)
- Vollautomatische Beladung mit EFEM (300mm-Wafer)
